基于LabVIEW的集成化飞秒激光微纳加工系统及加工方法
摘要:
本发明公开了一种基于LabVIEW的集成化飞秒激光微纳加工系统及加工方法,其利用LabVIEW编程环境调用PMAC运动控制卡的DLL动态库来驱动采用以太网方式与计算机相连的PMAC控制卡,间接实现对高精度三维移动平台单元的精密控制,并在软件界面显示;同时采用USB通信将高清CCD相机监测飞秒激光加工的样品状态和加工过程数据传输至控制软件并实时显示,并且实时采集飞秒激光功率参数和控制飞秒激光光束通断,利用LabVIEW开发多线程控制程序,将不同通讯方式的多控制器软件集于一体开发。系统具有调节精度高、速度快、调节简单、控制难度低、界面功能多样化的优点,可实现多种微纳结构的制造工作。
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