一种同时检测温度和应变信号的传感器
摘要:
本发明是一种同时检测温度和应变信号的传感器,包括金属薄膜层Ⅰ(2),功能薄膜层(3),栅状线条(4)和金属薄膜层Ⅱ(5),所述金属薄膜层Ⅰ(2),功能薄膜层(3),栅状线条(4)和金属薄膜层Ⅱ(5)以层叠方式集成,其特征在于:所述金属薄膜层Ⅰ(2)与金属薄膜层Ⅰ(3)一面层叠相连,金属薄膜层Ⅱ(5)与栅状线条(4)同一面的两端分别层叠相连,通过金属薄膜层Ⅰ(2)上的信号引出线Ⅰ(6)和金属薄膜层Ⅱ(5)上的信号引出线Ⅱ(6)可以取出温度信号,通过金属薄膜层Ⅱ(5)上的信号引出线Ⅱ(7)和信号引出线Ⅲ(8)可以进行应变信号的测量。所述一种可以同时检测温度和应变信号的传感器在基体(1)表面可以呈阵列式排列。本发明能用于航空结构件表面,具有高度集成化,小型化和精确化。
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