- 专利标题: 一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统
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申请号: CN201611245753.4申请日: 2016-12-29
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公开(公告)号: CN106501551B公开(公告)日: 2019-08-06
- 发明人: 曹弘毅 , 张雷 , 姜明顺 , 隋青美 , 曹玉强 , 张法业
- 申请人: 山东大学
- 申请人地址: 山东省济南市经十路17923号
- 专利权人: 山东大学
- 当前专利权人: 山东大学
- 当前专利权人地址: 山东省济南市经十路17923号
- 代理机构: 济南圣达知识产权代理有限公司
- 代理商 张勇
- 主分类号: G01Q60/40
- IPC分类号: G01Q60/40 ; G01Q60/24 ; G01Q70/16 ; G01Q70/08
摘要:
本发明涉及一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统,基于光纤的原子力显微镜探头包括探针和微悬臂梁,探针位于微悬臂梁的一端,所述微悬臂梁位于光纤的一端,微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F‑P腔,微悬臂梁用来感应探针与样品之间距离的变化,当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F‑P腔的腔长发生变化时,反射光强度被光纤F‑P腔所调制。
公开/授权文献
- CN106501551A 一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统 公开/授权日:2017-03-15