本发明提供一种检测晶圆中铁(Fe)含量异常的装置及其方法，包括晶圆承载台、注入腔体、光照腔体、热处理腔体和少子寿命测量腔体，晶圆可以在各个腔体之间进行传递。本发明中，在基准晶圆和待测晶圆表面形成第一掺杂层和第二掺杂层，掺杂离子与Fe离子在光照下形成第一复合体和第二复合体，使晶圆的少子寿命降低，对晶圆进行热处理之后，第一复合体和第二复合体分解，晶圆的少子寿命又恢复为初始值。因此，通过测量不同时刻晶圆的少子寿命，将待测晶圆与基准晶圆的少子寿命下降的数值进行对比，从而判断待测晶圆中铁含量是否异常。此外，铁含量越高，形成的第一复合体和第二复合体越多，晶圆的少子寿命越小，半定量得出不同晶圆之间铁含量的差异。