一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法
摘要:
本发明提供了一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法,包括下列顺序步骤:(1)将金属钛片在室温下进行酸洗;(2)将酸洗后钛片用去离子水清洗干净,以金相砂纸打磨至表面呈金属光泽,分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗,经去离子水清洗后干燥备用;(3)将上述钛片浸入到含NH4F、去离子水的乙二醇溶液中,以钛片为阳极,铂电极为阴极,室温下施加直流电进行阳极氧化;(4)以阳极氧化后钛片为阳极,铂电极为阴极,Sr(NO3)2溶液为电解液,室温下施加直流电进行反应;(5)电化学反应完成后,将样品取出,用去离子水清洗干净,再经热处理后,得到钛酸锶SrTiO3薄膜。该方法简单,钛酸锶薄膜的厚度,结构易于控制,且可以实现大面积钛酸锶薄膜的批量制备。
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