发明授权
- 专利标题: 一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法
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申请号: CN201610982564.9申请日: 2016-11-09
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公开(公告)号: CN106521597B公开(公告)日: 2018-06-05
- 发明人: 谢广文 , 刘腾宇 , 王桂雪 , 颜双 , 孙丹丹 , 张月
- 申请人: 青岛科技大学
- 申请人地址: 山东省青岛市市北区郑州路53号青岛科技大学
- 专利权人: 青岛科技大学
- 当前专利权人: 青岛科技大学
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市市北区郑州路53号青岛科技大学
- 代理机构: 青岛中天汇智知识产权代理有限公司
- 代理商 郝团代
- 主分类号: C25D9/06
- IPC分类号: C25D9/06 ; C25D11/26
摘要:
本发明提供了一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法,包括下列顺序步骤:(1)将金属钛片在室温下进行酸洗;(2)将酸洗后钛片用去离子水清洗干净,以金相砂纸打磨至表面呈金属光泽,分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗,经去离子水清洗后干燥备用;(3)将上述钛片浸入到含NH4F、去离子水的乙二醇溶液中,以钛片为阳极,铂电极为阴极,室温下施加直流电进行阳极氧化;(4)以阳极氧化后钛片为阳极,铂电极为阴极,Sr(NO3)2溶液为电解液,室温下施加直流电进行反应;(5)电化学反应完成后,将样品取出,用去离子水清洗干净,再经热处理后,得到钛酸锶SrTiO3薄膜。该方法简单,钛酸锶薄膜的厚度,结构易于控制,且可以实现大面积钛酸锶薄膜的批量制备。
公开/授权文献
- CN106521597A 一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法 公开/授权日:2017-03-22