• 专利标题: 一种钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法
  • 专利标题(英): Preparation method of barium strontium titanate nanoparticle modified titanium dioxide thin film hydrogen sensor
  • 申请号: CN201610864969.2
    申请日: 2016-09-29
  • 公开(公告)号: CN106525914A
    公开(公告)日: 2017-03-22
  • 发明人: 夏晓红邓梦杰高云黄忠兵王卓
  • 申请人: 湖北大学
  • 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
  • 专利权人: 湖北大学
  • 当前专利权人: 湖北大学
  • 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
  • 代理机构: 武汉河山金堂专利事务所
  • 代理商 丁齐旭
  • 主分类号: G01N27/12
  • IPC分类号: G01N27/12
一种钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法
摘要:
本发明提出了一种钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器及制备方法,采用磁控溅射法、旋涂法和水热法相结合,通过调控旋涂钛酸锶钡纳米颗粒的尺寸和分散性来实现对二氧化钛薄膜表面的修饰。在FTO衬底上用磁控溅射法制备二氧化钛籽晶层,用水热法在有籽晶层上制备二氧化钛薄膜,再采用旋涂法将预先用水热法制备的钛酸锶钡纳米颗粒旋涂在二氧化钛薄膜的表面,每步制备后进行退火处理,最后用磁控溅射法在其表面制备金属铂电极。经钛酸锶钡纳米颗粒修饰的二氧化钛薄膜室温下氢气探测的灵敏度显著提高。本发明制备成本低,方法简单易操作,制得的氢气传感器在室温下对氢气探测灵敏度高,重复性好,稳定性好,可广泛应用于氢气新能源领域。
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