- 专利标题: AFM探针横向力标定系数测量方法及横向力标定方法
- 专利标题(英): AFM probe lateral force calibrating coefficient measurement method and lateral force calibrating method
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申请号: CN201611130422.6申请日: 2016-12-09
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公开(公告)号: CN106526242A公开(公告)日: 2017-03-22
- 发明人: 郑学军 , 严鑫洋 , 彭金峰 , 冯东东
- 申请人: 湘潭大学
- 申请人地址: 湖南省湘潭市西郊羊牯塘高岭路5号
- 专利权人: 湘潭大学
- 当前专利权人: 湘潭大学
- 当前专利权人地址: 湖南省湘潭市西郊羊牯塘高岭路5号
- 代理机构: 长沙市融智专利事务所
- 代理商 颜勇
- 主分类号: G01Q40/00
- IPC分类号: G01Q40/00 ; G01Q60/38
摘要:
本发明AFM探针横向力标定系数测量方法及横向力标定方法,属于纳米科技和纳米摩擦学的交叉领域,测量方法是在标准实验室环境条件下,利用AFM,测量试样在同一区域承受不同法向载荷Fn下的摩擦力电信号Uf及表面黏附力Fad;代入Ufβ=k(Fn+Fad)中,采用最优参数估计法求解出横向力标定系数β,从而实现横向力标定。本发明的优点在于:(a)本方法使用的材料具有任意性,不需加工,取材方便,成本低;(b)本方法基于Amontons定律,考虑了黏附力对标定的影响,计算过程简单、快速、准确,可广泛适用于各类AFM探针和微悬臂梁的横向力标定。
公开/授权文献
- CN106526242B AFM探针横向力标定系数测量方法及横向力标定方法 公开/授权日:2019-04-09