曝光设备及曝光方法
摘要:
本发明提供一种曝光设备及曝光方法。本发明的曝光设备包括一掩膜板、设于所述掩膜板左侧下方的第一平台、设于所述掩膜板右侧下方的第二平台、设于所述掩膜板右侧上方的第一光源、及设于所述掩膜板左侧上方的第二光源;所述第一平台、第二平台均用于承载基板;所述第一光源射出的光线穿过所述掩膜板射到所述第一平台;所述第二光源射出的光线穿过所述掩膜板射到所述第二平台;由于该曝光设备具有两个光源,使用该曝光设备进行曝光时,通过合理设置光路,便能够达到一个曝光腔内用一张掩膜板同时曝光两块基板的目的,从而能够提高产能,节省掩膜板。
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