发明授权
- 专利标题: 曝光设备及曝光方法
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申请号: CN201611179593.8申请日: 2016-12-19
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公开(公告)号: CN106527055B公开(公告)日: 2018-03-30
- 发明人: 朱美娜
- 申请人: 武汉华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
- 专利权人: 武汉华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 武汉华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
- 代理机构: 深圳市德力知识产权代理事务所
- 代理商 林才桂
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明提供一种曝光设备及曝光方法。本发明的曝光设备包括一掩膜板、设于所述掩膜板左侧下方的第一平台、设于所述掩膜板右侧下方的第二平台、设于所述掩膜板右侧上方的第一光源、及设于所述掩膜板左侧上方的第二光源;所述第一平台、第二平台均用于承载基板;所述第一光源射出的光线穿过所述掩膜板射到所述第一平台;所述第二光源射出的光线穿过所述掩膜板射到所述第二平台;由于该曝光设备具有两个光源,使用该曝光设备进行曝光时,通过合理设置光路,便能够达到一个曝光腔内用一张掩膜板同时曝光两块基板的目的,从而能够提高产能,节省掩膜板。
公开/授权文献
- CN106527055A 曝光设备及曝光方法 公开/授权日:2017-03-22
IPC分类: