一种芯片的板级封装结构及制作方法
摘要:
本发明提供了一种芯片的板级封装结构及制作方法,其中封装结构包括:基板,基板上形成有至少两个容纳空间;IGBT芯片和驱动芯片分别嵌入到对应的容纳空间内;形成在基板、IGBT芯片和驱动芯片表面上的第一介质层,IGBT芯片和驱动芯片的至少部分电极露出并覆盖有第一金属镀层,且至少一个IGBT芯片的栅极通过由第一金属镀层形成的第一线路层与驱动芯片的控制电极电连接;在第一介质层以及第一线路层上覆盖第二介质层,且IGBT芯片的源极和漏极上方的第一金属镀层露出;形成第一金属镀层上的金属种子层;形成在第二介质层和金属种子层上的第二金属镀层。本发明实施例提供了一种芯片的板级封装结构及制作方法,有效改善了芯片封装结构的电学性能。
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