一种太阳能电池的制备方法
摘要:
本发明公开了一种太阳能电池的制备方法;其包括如下步骤:硅片表面制绒;硅片的一面先集成扩散形成高表面浓度、厚杂质玻璃层、浅结深的PN结,再激光推进形成高低掺杂的PN结,然后沉积减反射钝化层;形成双面金属接触,得到太阳能电池;其中,集成扩散包括:第一步低温扩散,在表面沉积一定的杂质源,再高温推进;第二步低温扩散,再低温退火;第三步低温扩散。本发明的太阳能电池的制备方法,采用集成扩散工艺,提高了方阻的均匀性,同时可获得均匀性较好的重掺区,在扩散面形成明显扩散高低PN结,降低了串联电阻,增加了填充因子,改善了电池的短波光谱响应,提高了短路电流和开路电压,从而提高了电池效率。
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