发明公开
- 专利标题: 一种太阳能电池的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of solar battery
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申请号: CN201611023715.4申请日: 2016-11-14
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公开(公告)号: CN106531842A公开(公告)日: 2017-03-22
- 发明人: 侯利平 , 王栩生 , 邢国强
- 申请人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
- 专利权人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
- 当前专利权人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 张海英; 林波
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L21/225
摘要:
本发明公开了一种太阳能电池的制备方法;其包括如下步骤:硅片表面制绒;硅片的一面先集成扩散形成高表面浓度、厚杂质玻璃层、浅结深的PN结,再激光推进形成高低掺杂的PN结,然后沉积减反射钝化层;形成双面金属接触,得到太阳能电池;其中,集成扩散包括:第一步低温扩散,在表面沉积一定的杂质源,再高温推进;第二步低温扩散,再低温退火;第三步低温扩散。本发明的太阳能电池的制备方法,采用集成扩散工艺,提高了方阻的均匀性,同时可获得均匀性较好的重掺区,在扩散面形成明显扩散高低PN结,降低了串联电阻,增加了填充因子,改善了电池的短波光谱响应,提高了短路电流和开路电压,从而提高了电池效率。
公开/授权文献
- CN106531842B 一种太阳能电池的制备方法 公开/授权日:2019-03-22