一种基于一维无衍射光束测量三维面形的装置及方法
摘要:
本发明提供一种基于一维无衍射光束测量三维面形的装置及方法,其中,所述装置包括底座、照明模块、电动旋转台、成像模块、运动控制器、上位机、待测物体、标定板及电源模块。本发明提供的一种基于一维无衍射光束测量三维面形的装置及方法,能够减少激光宽度对测量结果的影响。
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