一种快速恢复二极管及其制造方法
摘要:
本发明提供一种快速恢复二极管及其制造方法,所述二极管包括:具有三个具有间隔的P型硅区(3)的且表面有氧化层(2)的N型硅衬底(1),所述氧化层(2)上的多晶层(5),所述多晶层(5)上的阳极金属层和所述N型硅衬底(1)上与其相对的阴极金属层,所述P型硅区(3)具有深能级掺杂区(4);所述制造方法包括:1)初始氧化;2)形成有源区和分压环;3)形成PN结;4)多晶生长:5)寿命控制;6)多晶场板;7)形成阳极金属电极并表面钝化;8)形成Al/Ti/Ni/Ag或Ti/Ni/Ag阴极金属电极。本发明制造方法利用多晶实现激光退火终端保护,避免激光退火导致终端受损以致耐压失效。
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