蒸发燃料处理装置具有：封闭阀(21)，其对燃料箱(2)与吸附罐(3)之间的蒸发燃料通路(16)进行开闭；第1净化控制阀(23)，其对吸附罐(3)与内燃机(1)的进气通路(17)之间的净化通路(19)进行开闭；以及第2净化控制阀(32)，其对吸附罐(3)与燃料箱(2)之间的箱开放通路(31)进行开闭。在用于供油的压力释放时，在封闭阀(21)的开阀之前，小口径的第2净化控制阀(32)先行开阀，防止封闭阀(21)开阀时的吹出。根据第2净化控制阀(32)开阀后的压力降低量，诊断第2净化控制阀(32)是否固接。