用于化学机械抛光的多层抛光垫
Abstract:
本发明涉及用于化学机械抛光的多层抛光垫,其包含顶层、中间层及底层,其中,该顶层与该底层通过该中间层而接合在一起,且没有使用粘合剂。本发明还涉及包含光学透射区域的多层抛光垫,其中,该多层抛光垫的各层接合在一起而没有使用粘合剂。
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