发明授权
摘要:
本发明公开了一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置,包括基板,在基板上设有手动三轴位移台和支座,在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有指向微结构单元的针电极单元;所述微结构单元包括安装套,在安装套的安装孔内一端压装有弹性底座,弹性底座为圆环形薄片状并在其中部设有环形凸台,在弹性底座内通过绝缘套镶装有板电极,弹性底座内侧安装有MEMS微结构;在安装孔内另一端压装有光学玻璃板;在安装套外壁沿径向设有真空接头;所述针电极和板电极分别与高压电容的两极电联接,所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极。该装置结构安装牢固,操作简便安全,便于在真空环境下测试微结构的动态特性参数。
公开/授权文献
- CN106586951A 一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置 公开/授权日:2017-04-26