六氟化硫和氮气混合气体分解产物检测系统及其检测方法
摘要:
六氟化硫和氮气混合气体分解产物检测系统,包括主控单元、显示单元、进气管路、出气管路以及并联设置的第一检测气路和第二检测气路,进气管路的进气口设有带流量调节阀的进气管接头,第一检测气路和第二检测气路的进气口与进气管路的出气口连接,第一检测气路和第二检测气路的出气口与出气管路的进气口连接;第一检测气路上设置有分解产物及温度传感单元和流量传感单元,第二检测气路上设置有纯度传感单元和压力传感单元。本发明的目的是检测混合气体中分解产物气体各组分含量,通过内嵌算法,包含去交叉、流量补偿、温度补偿等,得到混合气体中分解产物气体各组分的含量。
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