发明授权
- 专利标题: 一种大口径反射镜组件的面形检验方法
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申请号: CN201611029649.1申请日: 2016-11-14
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公开(公告)号: CN106596057B公开(公告)日: 2019-06-18
- 发明人: 周于鸣 , 焦文春 , 王向东 , 刘志远 , 王春雨 , 黄阳 , 阴刚华 , 卢浩 , 宋俊儒 , 李斌
- 申请人: 北京空间机电研究所
- 申请人地址: 北京市丰台区南大红门路1号9201信箱5分箱
- 专利权人: 北京空间机电研究所
- 当前专利权人: 北京空间机电研究所
- 当前专利权人地址: 北京市丰台区南大红门路1号9201信箱5分箱
- 代理机构: 中国航天科技专利中心
- 代理商 张丽娜
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02 ; G01B11/24
摘要:
本发明涉及一种大口径反射镜组件的面形检验方法,属于光学精密测量技术领域。反射镜组件中的反射镜镜面朝上,用干涉仪测量反射镜组件中反射镜的面形数据W0(m×n),反射镜组件中的反射镜镜面朝下,用干涉仪测量反射镜组件中反射镜的面形数据W180(i×j);将W0(m×n)和步W180(i×j)进行面形数据矩阵归一化处理,得到F0(a×b)=Wa×b+G0(a×b)+Ka×b和F180(a×b)=Wa×b+G180(a×b)+Ka×b,将归一化处理后的面形数据F0(a×b)和F180(a×b)进行图像叠加,消除重力变形,得到反射镜零重力面形数据F=(F0(a×b)+F180(a×b))/2=Wa×b+Ka×b,如果F与Wa×b的差值Ka×b的均方根值不大于0.003λ(λ=632.8nm),认为反射镜组件的装配符合要求,如果F与Wa×b的差值Ka×b的均方根值大于0.003λ,认为反射镜组件的装配不符合要求,需重新对反射镜组件重新进行装配。
公开/授权文献
- CN106596057A 一种大口径反射镜组件的面形检验方法 公开/授权日:2017-04-26