- 专利标题: 一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置
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申请号: CN201611143636.7申请日: 2016-12-13
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公开(公告)号: CN106597520B公开(公告)日: 2019-05-14
- 发明人: 章程 , 侯兴民 , 邵涛 , 邱锦涛
- 申请人: 中国科学院电工研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村北二条6号
- 专利权人: 中国科学院电工研究所
- 当前专利权人: 中国科学院电工研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村北二条6号
- 代理机构: 北京君泊知识产权代理有限公司
- 代理商 王程远; 胡玉章
- 主分类号: G01T1/36
- IPC分类号: G01T1/36
摘要:
本发明涉及一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置,包括:纳秒脉冲电源、放电腔、逃逸电子束流收集器和示波器,且依次连接。其中,所述逃逸电子束流收集器包括三个或多个相同的同轴收集器,每个同轴收集器分别设有信号输出端,并分别通过同轴电缆连接所述示波器,纳秒脉冲电源的输出端经分压器后也与示波器相连。本发明可以对不同区域的放电产生的逃逸电子进行测量,进而分析逃逸电子在空间中的时域分布和能谱分布。该发明可广泛应用于纳秒脉冲放电的理论分析和应用研究。
公开/授权文献
- CN106597520A 一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置 公开/授权日:2017-04-26