互补场效应晶体管及其制备方法
摘要:
本发明提供一种互补场效应晶体管及其制备方法,包括:半导体衬底,位于半导体衬底中的相互隔离的N型场效应晶体管和P型场效应晶体管;N型场效应晶体管包括第一锗纳米线、包围在第一锗纳米线四周的第一III-V化合物层、位于第一III-V化合物层上的第一势垒层、第一栅介质层和第一栅电极,以及分别位于第一栅电极两侧的第一源区和第一漏区;P型场效应晶体管包括第二锗纳米线、包围在第二锗纳米线四周的第二III-V化合物层、位于第二III-V化合物层上的第二势垒层、第二栅介质层和第二栅电极,以及分别位于第二栅电极两侧第二源区和第二漏区。本发明互补场效应晶体管形成二维电子气和二维空穴气,且为栅极全包围的器件,载流子迁移率高。
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