发明公开
- 专利标题: 互补场效应晶体管及其制备方法
- 专利标题(英): Complementary field effect transistor and production method thereof
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申请号: CN201510671009.X申请日: 2015-10-15
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公开(公告)号: CN106601738A公开(公告)日: 2017-04-26
- 发明人: 肖德元
- 申请人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区泥城镇云端路1412弄15号3层
- 专利权人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区泥城镇云端路1412弄15号3层
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 金华
- 主分类号: H01L27/092
- IPC分类号: H01L27/092 ; H01L21/8238
摘要:
本发明提供一种互补场效应晶体管及其制备方法,包括:半导体衬底,位于半导体衬底中的相互隔离的N型场效应晶体管和P型场效应晶体管;N型场效应晶体管包括第一锗纳米线、包围在第一锗纳米线四周的第一III-V化合物层、位于第一III-V化合物层上的第一势垒层、第一栅介质层和第一栅电极,以及分别位于第一栅电极两侧的第一源区和第一漏区;P型场效应晶体管包括第二锗纳米线、包围在第二锗纳米线四周的第二III-V化合物层、位于第二III-V化合物层上的第二势垒层、第二栅介质层和第二栅电极,以及分别位于第二栅电极两侧第二源区和第二漏区。本发明互补场效应晶体管形成二维电子气和二维空穴气,且为栅极全包围的器件,载流子迁移率高。
公开/授权文献
- CN106601738B 互补场效应晶体管及其制备方法 公开/授权日:2018-08-24
IPC分类: