发明公开
CN106637117A 一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
- 专利标题(英): High-efficiency preparation method for nitrogen-doped titanium dioxide film
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申请号: CN201611188589.8申请日: 2016-12-21
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公开(公告)号: CN106637117A公开(公告)日: 2017-05-10
- 发明人: 彭寿 , 马立云 , 杨勇 , 姚婷婷 , 李刚 , 金克武 , 沈洪雪 , 王天齐 , 甘治平 , 徐根保
- 申请人: 蚌埠玻璃工业设计研究院 , 中国建材国际工程集团有限公司
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号;
- 专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号;
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 杨晋弘
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/08 ; C23C14/02
摘要:
本发明公开了一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法,包括如下步骤:(1)清洗玻璃基片,后用高压N2吹干;(2)采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜,即射频电源与匹配器相连接后与直流电源一起连接至滤波器,滤波器直接连接阴极,射频电源和直流电源一起供电给阴极。本发明采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜,从而得到沉积速率快,膜层质量高的薄膜。本发明工艺简单,条件易控,制备周期短,易于规模放大。制备的氮掺杂二氧化钛薄膜结晶度高,与基底结合牢固,稳定性好,可重复使用。
IPC分类: