一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
摘要:
本发明公开了一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法,包括如下步骤:(1)清洗玻璃基片,后用高压N2吹干;(2)采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜,即射频电源与匹配器相连接后与直流电源一起连接至滤波器,滤波器直接连接阴极,射频电源和直流电源一起供电给阴极。本发明采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜,从而得到沉积速率快,膜层质量高的薄膜。本发明工艺简单,条件易控,制备周期短,易于规模放大。制备的氮掺杂二氧化钛薄膜结晶度高,与基底结合牢固,稳定性好,可重复使用。
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