发明公开
- 专利标题: 基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器及其工作方法
- 专利标题(英): MOEMS wireless vibration sensor based on comb grid and operation method thereof
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申请号: CN201710034536.9申请日: 2017-01-18
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公开(公告)号: CN106644038A公开(公告)日: 2017-05-10
- 发明人: 王静 , 蒋善超 , 隋青美 , 田长彬 , 李亦佳 , 贾磊 , 曹玉强 , 张法业
- 申请人: 山东大学 , 盐城工学院
- 申请人地址: 山东省济南市经十路17923号;
- 专利权人: 山东大学,盐城工学院
- 当前专利权人: 山东大学,盐城工学院
- 当前专利权人地址: 山东省济南市经十路17923号;
- 代理机构: 济南圣达知识产权代理有限公司
- 代理商 张勇
- 主分类号: G01H9/00
- IPC分类号: G01H9/00 ; G08C17/02
摘要:
本发明公开了一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器及其工作方法,包括:传感器外壳,微型光源通过传输光纤与振动敏感源连接,在所述振动敏感源的两侧分别固定有准直器,所述振动敏感源的输出端通过传输光纤与光电转换模块连接,光电转换模块与数据分析模块、无线传输模块依次连接。本发明有益效果:此种结构设计使其在监测中仅需要将传感器与被测物体进行有效的接触,并检测信号的无线传输功能有效的克服了隧道、桥梁等大型工程结构监测中传感器布置与引线困难的现状。
公开/授权文献
- CN106644038B 基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器及其工作方法 公开/授权日:2023-08-18