一种双通道谱域光学相干层析成像方法及装置
摘要:
本申请公开了一种双通道谱域光学相干层析成像方法,包括:相干光束通过第一光路入射至待测样品,经过待测样品内部同一截面反射产生第一反射光束以及第二反射光束;第一反射光束通过第一成像通道至第一分光镜的输入端,第二反射光束通过第二成像通道至第二分光镜的第一输入端,并经过第二分光镜的第一输出端输出至第一分光镜的输入端;从第一分光镜的输出端输出的第一反射光以及第二反射光均入射至第二光路;采集干涉光谱;当待测样品发生形变时,根据干涉光谱分别计算待测样品内部的面内位移和离面位移。经过待测样品内部同一截面同时层析成像,实现同时测量离面位移和面内位移。本申请公开了双通道谱域光学相干层析成像系统,具有上述效果。
公开/授权文献
0/0