发明公开
CN106647143A 快速外延片曝光装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 快速外延片曝光装置
- 专利标题(英): Rapid epitaxial wafer exposure device
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申请号: CN201611010335.7申请日: 2016-11-17
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公开(公告)号: CN106647143A公开(公告)日: 2017-05-10
- 发明人: 姚海林
- 申请人: 东莞唯度电子科技服务有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路创投大厦112B
- 专利权人: 东莞唯度电子科技服务有限公司
- 当前专利权人: 东莞唯度电子科技服务有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路创投大厦112B
- 主分类号: G03B27/54
- IPC分类号: G03B27/54 ; G03B27/52
摘要:
本发明公开了一种快速外延片曝光装置,包括影像定准器,影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接,影像定准器底部位于一操作平台上,影像定准器与操作平台之间铰接,操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台,云台与操作平台之间固定连接,两云台之间连接有耗能板,耗能板不止一个,耗能板上设有导轨。本快速外延片曝光装置提高了设备的制动化和智能化程度,使得安全系数大幅度提高,提高了曝光精度,使其线条更加均匀,同时延长了曝光设备的使用寿命,具有良好的调节性,调试简单,方便操作。