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一种离子源
Abstract:
本发明公开了一种离子源,包括支架组件、栅网组件和放电组件,所述支架组件的内部设置有一空腔,所述栅网组件安装于所述支架组件的一端,所述支架组件的另一端开口,所述放电组件滑动安装于所述支架组件的内部空腔内并与支架组件的开口端紧固相连。本发明的离子源具有结构简单、拆装方便以及检修效率高等优点。
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