一种发光二极管外延片及制作方法
摘要:
本申请公开了一种发光二极管外延片的制作方法,包括步骤:在蓝宝石衬底上涂上光刻胶制作图形,同时植入对位标记,干法刻蚀出圆锥状的图形同时将步进光刻机的对位标记也制作出来,然后清洗干净;图形化衬底制作好之后生长外延层U‑GaN层;将外延片取出涂上光刻胶,用步进光刻机进行套合,在圆锥状的图形的上方开孔;干法刻蚀,然后去胶清洗干净形成圆柱体的孔;将上述外延片继续生长N型半导体层、发光层、P型半导体层至完全结构的外延片,在外延层U‑GaN层外延生长时,通过横向生长将孔补上后形成内部具有空气柱的发光二极管外延片。本发明还公开了一种发光二极管外延片。由于空气柱的存在,提升了发光二极管芯片的光效。
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