发明授权
- 专利标题: 一种发光二极管外延片及制作方法
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申请号: CN201710078590.3申请日: 2017-02-14
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公开(公告)号: CN106653963B公开(公告)日: 2018-08-31
- 发明人: 何鹏
- 申请人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 代理机构: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所
- 代理商 于淼
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/20
摘要:
本申请公开了一种发光二极管外延片的制作方法,包括步骤:在蓝宝石衬底上涂上光刻胶制作图形,同时植入对位标记,干法刻蚀出圆锥状的图形同时将步进光刻机的对位标记也制作出来,然后清洗干净;图形化衬底制作好之后生长外延层U‑GaN层;将外延片取出涂上光刻胶,用步进光刻机进行套合,在圆锥状的图形的上方开孔;干法刻蚀,然后去胶清洗干净形成圆柱体的孔;将上述外延片继续生长N型半导体层、发光层、P型半导体层至完全结构的外延片,在外延层U‑GaN层外延生长时,通过横向生长将孔补上后形成内部具有空气柱的发光二极管外延片。本发明还公开了一种发光二极管外延片。由于空气柱的存在,提升了发光二极管芯片的光效。
公开/授权文献
- CN106653963A 一种发光二极管外延片及制作方法 公开/授权日:2017-05-10
IPC分类: