发明授权
- 专利标题: 对基板作业装置及对基板作业系统
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申请号: CN201480081797.0申请日: 2014-09-12
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公开(公告)号: CN106664824B公开(公告)日: 2019-07-12
- 发明人: 山本瑞穗 , 藤村晋吾 , 高桑淳郎
- 申请人: 株式会社富士
- 申请人地址: 日本爱知县知立市
- 专利权人: 株式会社富士
- 当前专利权人: 株式会社富士
- 当前专利权人地址: 日本爱知县知立市
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 穆德骏; 谢丽娜
- 国际申请: PCT/JP2014/074201 2014.09.12
- 国际公布: WO2016/038730 JA 2016.03.17
- 进入国家日期: 2017-03-08
- 主分类号: H05K13/04
- IPC分类号: H05K13/04 ; G05B19/418
摘要:
在对基板作业系统(10)中,对基板作业装置(20)的CPU(32)在本装置发生了错误的情况下发送与该错误相关的错误关联信息。并且,CPU(32)接收与其他的对基板作业装置(20)的错误相关的错误关联信息,并将接收到的错误关联信息存储于HDD(35)。并且,在检测出发生了错误的对基板作业装置(20)(其他的对基板作业装置(20))的电源切断的情况下,对显示操作部(60)进行控制,以向作业者报知基于所存储的错误关联信息的信息(其他装置错误报知画面)。由此,在发生了错误的对基板作业装置(20)的电源被切断的情况下,其他的对基板作业装置(20)能够向作业者报知与错误相关的信息。
公开/授权文献
- CN106664824A 对基板作业装置及对基板作业系统 公开/授权日:2017-05-10