本发明涉及有机化学制备工艺领域，具体涉及一种氰乙基三乙氧基硅烷的制备方法。本发明是采用固载催化剂进行加成反应，主要是先将四乙氧基硅烷固载到4A分子筛上，通过水解在其上得到更多羟基，然后将钛离子固载在4A分子筛上，然后用助催化剂六甲基磷酰三胺除掉其中生成的盐酸；合成时采用混料进行进料反应，首先将催化剂和助催化剂一起投入反应釜内，混料通过固载催化剂进行加成反应，反应完后粗品可直接蒸馏得到99%以上的产品；本发明的产品摩尔收率可以达到94%以上；且固载催化剂，可重复使用，相对于现有方法合成的产品收率更高及产品质量更稳定，而且成本低、产能高、副产物少、设备要求低等优点，易工业化生产。