发明授权
- 专利标题： 一种高精度的压力控制装置
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申请号： CN201710058969.8申请日： 2017-01-23
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公开(公告)号： CN106681383B公开(公告)日： 2023-07-28
- 发明人: 高波 , 罗二仓 , 张海洋 , 林鹏 , 陈燕燕
- 申请人： 中国科学院理化技术研究所
- 申请人地址： 北京市海淀区中关村东路29号
- 专利权人： 中国科学院理化技术研究所
- 当前专利权人： 中国科学院理化技术研究所
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区中关村东路29号
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 汤财宝
- 主分类号： G05D16/18
- IPC分类号： G05D16/18
摘要：
本发明公开了一种高精度的压力控制装置，其包括：气瓶，其包括有高纯度的工作气体；至少一个腔体，所述气瓶与所述至少一个腔体的进气管道连接，所述至少一个腔体的出气管连接到压力计，所述工作气体通过所述压力计进入到反馈回路。本发明结构简单、控压精度高，其解决了绝对压力测量过程中活塞压力计内部泄气导致测压周期短、连续波动大和测压管路存在“死空间”等问题。
公开/授权文献
- CN106681383A 一种高精度的压力控制装置 公开/授权日：2017-05-17