一种大口径反射镜面形轮廓在位检测方法及装置
摘要:
本发明提出一种大口径反射镜面形轮廓在位检测方法及装置,该检测系统主要由机械手、激光跟踪仪主机、待测反射镜及其支撑工装,反射镜基准定位装置、靶球、机械手的接口装置组成。机械手的接口装置包括磁力座、柔性力传感器、机械手接口。待测反射镜置于反射镜支撑工装上,靶球能够与待测反射镜接触,并通过磁性吸在磁力座上。机械手能够按照预先规划的路径使靶球在待测反射镜加工面上打点扫描,实现待测反射镜的面形轮廓扫描,直至扫描路径覆盖整个待测反射镜的加工面,通过数据处理,获得待测反射镜加工面的面形轮廓分布。本发明保持被测反射镜检测状态与加工状态一致,特别适合于大口径反射镜铣磨及研磨阶段的面形轮廓在线检测。
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