- 专利标题： 电弧蒸发的Me11-aMe2aZI/Mo1-b-cSicBbZII多层涂层
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申请号： CN201580042361.5申请日： 2015-07-24
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公开(公告)号： CN106715757B公开(公告)日： 2019-07-16
- 发明人: H·里伊德 , M·阿恩德特 , P·波西克 , P·H·马伊霍弗
- 申请人： 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 普费菲孔
- 申请人地址： 瑞士普费菲孔
- 专利权人： 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔
- 当前专利权人： 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔
- 当前专利权人地址： 瑞士普费菲孔
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 段菊兰; 周齐宏
- 优先权： 62/028519 2014.07.24 US
- 国际申请： PCT/EP2015/067023 2015.07.24
- 国际公布： WO2016/012600 EN 2016.01.28
- 进入国家日期： 2017-01-23
- 主分类号： C23C28/04
- IPC分类号： C23C28/04 ; C23C14/06 ; C23C14/32
摘要：
本发明涉及包含多层膜的涂层，其特征在于包含I型层和II型层的多层结构，其中所述I型层由具有由式Me11‑aMe2aZI给定的化学组成的金属氮化物组成，并且所述II型层由具有由式Mo1‑b‑cSicBbZII或Mo1‑b‑cSicBb给定的化学组成的含Mo材料组成。本发明此外涉及用于沉积上述涂层的方法。
公开/授权文献
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CN106715757A
电弧蒸发的Me1
IPC分类:
