一种飞秒激光并行加工导光板散射网点的装置和方法
摘要:
本发明公开一种飞秒激光并行加工导光板散射网点的装置和方法,包括导光板传输定位装置、导光板加工中心装置、排热除尘装置、飞秒激光全息并行加工系统和控制中心,所述的导光板传输定位装置包括导光板传输机构、吸附装置和光栅定位传感器,所述的导光板加工中心装置包括整机桥架、支撑板和X、Y两个方向的滚珠丝杠进给装置,所述的飞秒激光并行加工系统是用于飞秒激光器射出激光束的分束和传导器件,包括飞秒激光器、光路传输与控制设备、空间光调制器(SLM)和显微镜及监控系统。本发明利用液晶空间光调制器(LCSLM)加载计算机全息图(CGH)能够单次实现多光束并行加工,可以有效提高加工速度和加工效率显著,缩短加工时间,大大节省加工成本。
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