一种陶瓷基板真空移载装置
摘要:
本发明公开了一种陶瓷基板真空移载装置,包括底座,底座内设置有控制箱,底座上部焊接有安装座,安装座上铰接有摆动臂,摆动臂上部固定连接有转动圆盘,转动圆盘上端转动连接有移载臂总成,移载臂总成前端设置有安装孔,安装孔上侧和下侧分别连接有第一移载臂和第二移载臂,第一移载臂具有第一驱动机构,第二移载臂具有第二驱动机构,第一移载臂前端转动连接有第一承载支架,第一承载支架上设置有真空吸盘,第二移载臂前端转动连接有第二承载支架,第一承载支架上也设置有真空吸盘。陶瓷基板真空移载装置设置有两个单独驱动的移载臂,两个移载臂工作过程互不影响,在移载过程中,移载架能够同时进行真空吸附移载,也能够进行悬浮移载。
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