利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明授权
CN106744756B 磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统 有权

  • 专利标题： 磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统
  • 申请号： CN201610366915.3
    申请日： 2016-05-31
  • 公开(公告)号： CN106744756B
    公开(公告)日： 2019-07-09
  • 发明人: 黄建
  • 申请人： 黄建
  • 申请人地址： 北京市海淀区塔院小区消夏园1104室
  • 专利权人： 黄建
  • 当前专利权人： 黄建
  • 当前专利权人地址： 北京市海淀区塔院小区消夏园1104室
  • 主分类号： C01B25/06
  • IPC分类号： C01B25/06 ;  A23B9/18
磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统
摘要：
一种磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统，所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统包括电源、氮气源、氮气纯度检测仪、压力传感器、磷化氢发生器、磷化氢浓度检测仪、连接管路及控制阀、报警器和保护电路；所述氮气源出气口与磷化氢发生器进气口连接，可向磷化氢发生器内注入纯氮气，用于稀释磷化氢发生器产生的磷化氢气体的浓度。
摘要（英）：

The invention relates to a phosphine gas preparation and use and nitrogen dilution system which comprises a power supply, a nitrogen source, a nitrogen purity detector, a pressure sensor, a phosphine generator, a phosphine concentration detector, a connecting pipeline, a control valve, an alarm and a protection circuit, wherein a gas outlet of the nitrogen source is connected with a gas inlet of the phosphine generator; and the nitrogen source can inject pure nitrogen into the phosphine generator for diluting a concentration of phosphine gas generated by the phosphine generator.

公开/授权文献
0/0