一种共掺杂DLC薄膜的制备方法
摘要:
本发明公开了一种共掺杂DLC薄膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)将分别经过丙酮、酒精、去离子水等严格清洗的玻璃衬底置于载物台上,载物台正对钨W、石墨C两靶材的焦点处。(2)W、C两靶材都分别成45°倾斜,都对准衬底。(3)氩离子轰击靶材,达到去除靶材表面杂质和活化靶材的作用。(4)通入氩气,使两靶材同时起辉,通过分别改变每个靶材的参数,达到制备高性能的W掺杂类金刚石薄膜。本发明通过改变每个靶材的工艺参数,可以根据实际需要制备不同掺杂量和不同性能的W掺杂DLC薄膜。
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