发明公开
CN106756846A 一种共掺杂DLC薄膜的制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种共掺杂DLC薄膜的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method for co-doping DLC thin film
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申请号: CN201611188594.9申请日: 2016-12-21
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公开(公告)号: CN106756846A公开(公告)日: 2017-05-31
- 发明人: 沈洪雪 , 甘治平 , 李刚 , 姚婷婷 , 杨勇 , 金克武
- 申请人: 蚌埠玻璃工业设计研究院 , 中国建材国际工程集团有限公司
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号;
- 专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号;
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 杨晋弘
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/06
摘要:
本发明公开了一种共掺杂DLC薄膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)将分别经过丙酮、酒精、去离子水等严格清洗的玻璃衬底置于载物台上,载物台正对钨W、石墨C两靶材的焦点处。(2)W、C两靶材都分别成45°倾斜,都对准衬底。(3)氩离子轰击靶材,达到去除靶材表面杂质和活化靶材的作用。(4)通入氩气,使两靶材同时起辉,通过分别改变每个靶材的参数,达到制备高性能的W掺杂类金刚石薄膜。本发明通过改变每个靶材的工艺参数,可以根据实际需要制备不同掺杂量和不同性能的W掺杂DLC薄膜。
IPC分类: