一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置
摘要:
一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置,包括上止推盘、主轴、下止推盘、轴套、气室外套、线状传感器以及主轴保持架,上止推盘、下止推盘分别与主轴的上下两端面同轴密封固接,三者共同形成用于容纳轴套的凹腔;轴套套在所述主轴外部,轴套与凹腔之间的间隙作为气模的容纳腔;轴套的外壁设有用于容纳气室外套的凹槽,轴套外部套装气室外套,凹槽的上下槽壁分别与所述气室外套上下两端面密封固接;轴套设有轴向节流孔、轴向细孔、多组径向节流孔和多组径向细孔,线状传感器的头部伸入气模内;主轴保持架设有卡槽。本发明的有益效果在于:实现超精密气体静压主轴气膜速度场的高效测试;根据需求布置测点,使用便捷;测试过程干扰小,可靠性高。
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