一种高品质因子回音壁模微球腔的制备方法
摘要:
一种高品质因子回音壁模微球腔的制备方法,涉及光学谐振腔。包括以下步骤:1)将毫米级石英玻璃棒固定在旋转电机上;2)将毫米级石英玻璃棒顶端用CO2激光器剥蚀至所需微球腔大小的尺度,得微米级石英玻璃棒;3)用CO2激光器烧蚀掉微米级石英玻璃棒顶端多余的长度,再加热微米级石英玻璃棒,得原始回音壁模微腔;4)提高CO2激光器的输出功率,短时间灼烧原始回音壁模微腔,受热的微腔在表面张力的作用下自然形成球状,得到高品质因子回音壁模微球腔。可得到柱上微球腔,稳定性更好;可制备尺寸为190~700μm的微球腔,且品质因子高达108以上。
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