发明授权
- 专利标题： 一种具有晶圆侦测功能的炉管设备
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申请号： CN201611218685.2申请日： 2016-12-26
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公开(公告)号： CN106783686B公开(公告)日： 2019-05-03
- 发明人: 赵庆 , 辛科 , 周诗铎
- 申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
- 专利权人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 当前专利权人： 武汉新芯集成电路股份有限公司
- 当前专利权人地址： 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
- 代理机构： 上海申新律师事务所
- 代理商 俞涤炯
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67
摘要：
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种具有晶圆侦测功能的炉管设备，通过设置炉管设备包括机械手臂、支架和光纤传感器，且该支架可滑动地安装在机械手臂未设置抓手的一端上，该光纤传感器设置于支架的端部，以在机械手臂空闲时利用该光纤传感器对晶舟内的晶圆进行扫描，从而可以提前侦测晶圆的异常和脱片状态，进而避免因为晶圆的异常和脱片造成与抓手的撞击所导致的经济损失。
公开/授权文献
- CN106783686A 一种具有晶圆侦测功能的炉管设备 公开/授权日：2017-05-31
IPC分类:
