发明授权
CN106784298B 一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置及其应用
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置及其应用
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申请号: CN201611145191.6申请日: 2016-12-13
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公开(公告)号: CN106784298B公开(公告)日: 2019-05-14
- 发明人: 张金星 , 田瑜
- 申请人: 北京师范大学
- 申请人地址: 北京市海淀区新街口外大街19号
- 专利权人: 北京师范大学
- 当前专利权人: 北京师范大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区新街口外大街19号
- 代理机构: 北京正理专利代理有限公司
- 代理商 张文祎; 赵晓丹
- 主分类号: H01L41/257
- IPC分类号: H01L41/257
摘要:
本发明公开了一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置,包括信号发生器、对电极、衬底、形成在衬底上的底电极、形成在底电极上的铁电薄膜、容器和液体;对电极、衬底、底电极和铁电薄膜均放置在容器内的液体中;底电极通过导线接地,底电极与导线连接处不与液体接触;对电极通过导线连接信号发生器;信号发生器置于容器外。本发明实现了大面积的铁电薄膜极化的全部来回翻转,且翻转过程不会破坏铁电薄膜表面结构。翻转转处理过程简便,易于实现,且成本低廉,便于工业的广泛应用。
公开/授权文献
- CN106784298A 一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置及其应用 公开/授权日:2017-05-31
IPC分类: