一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置及其应用
摘要:
本发明公开了一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置,包括信号发生器、对电极、衬底、形成在衬底上的底电极、形成在底电极上的铁电薄膜、容器和液体;对电极、衬底、底电极和铁电薄膜均放置在容器内的液体中;底电极通过导线接地,底电极与导线连接处不与液体接触;对电极通过导线连接信号发生器;信号发生器置于容器外。本发明实现了大面积的铁电薄膜极化的全部来回翻转,且翻转过程不会破坏铁电薄膜表面结构。翻转转处理过程简便,易于实现,且成本低廉,便于工业的广泛应用。
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