一种掩埋结构激光器及其制造方法
摘要:
本发明涉及激光器技术领域,提供了一种掩埋结构激光器及其制造方法。其中,激光器包括衬底、台面结构、掩埋结构和电极接触层,台面结构位于衬底上;掩埋结构由至少一层第一材料层和至少一层第二材料层构成,第二材料层覆盖于第一材料层上,并且第二材料层上对应台面结构的台顶区域设置有凹槽结构;电极接触层位于第二材料层上。本发明实施例克服了现有技术中存在的掩膜层与高电阻层(即掩埋材料)接触区域会过度生长,形成尖锐边角造成漏电流,会对器件在较小的电压下击穿的问题,提高了激光器工作的可靠性。
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