保护制造中半导体晶片的外围的方法以及相关制造中晶片及系统
摘要:
举例来说,处理半导体晶片的方法可涉及将下列项囊封在囊封材料中:半导体材料的晶片的有效表面及每侧表面;定位在所述晶片的所述有效表面上的多个半导体装置;定位在所述晶片的背侧表面上的粘合材料的经暴露侧表面;及通过所述粘合材料紧固到所述晶片的载体衬底的侧表面的至少部分。可通过移除所述囊封材料的至少部分而暴露所述粘合材料的所述侧表面的至少部分。可使所述载体衬底从所述晶片卸离。还揭示处理系统及制造中半导体晶片。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04 ..至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18 ...器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体,如掺杂材料
H01L21/30 ....用H01L21/20至H01L21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的(在半导体材料上制作电极的入H01L21/28)
H01L21/302 .....改变半导体材料的表面物理特性或形状的,例如腐蚀、抛光、切割
H01L21/306 ......化学或电处理,例如电解腐蚀(形成绝缘层的入H01L21/31;绝缘层的后处理入H01L21/3105)
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