- 专利标题: 保护制造中半导体晶片的外围的方法以及相关制造中晶片及系统
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申请号: CN201580053954.1申请日: 2015-09-04
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公开(公告)号: CN106796879B公开(公告)日: 2018-08-07
- 发明人: 卫·周 , 爱斌·俞 , 朝辉·马
- 申请人: 美光科技公司
- 申请人地址: 美国爱达荷州
- 专利权人: 美光科技公司
- 当前专利权人: 美光科技公司
- 当前专利权人地址: 美国爱达荷州
- 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 路勇
- 优先权: 14/485,973 2014.09.15 US
- 国际申请: PCT/US2015/048600 2015.09.04
- 国际公布: WO2016/043993 EN 2016.03.24
- 进入国家日期: 2017-04-05
- 主分类号: H01L21/306
- IPC分类号: H01L21/306 ; H01L21/311 ; H01L21/324 ; H01L21/56 ; H01L23/00 ; H01L23/31
摘要:
举例来说,处理半导体晶片的方法可涉及将下列项囊封在囊封材料中:半导体材料的晶片的有效表面及每侧表面;定位在所述晶片的所述有效表面上的多个半导体装置;定位在所述晶片的背侧表面上的粘合材料的经暴露侧表面;及通过所述粘合材料紧固到所述晶片的载体衬底的侧表面的至少部分。可通过移除所述囊封材料的至少部分而暴露所述粘合材料的所述侧表面的至少部分。可使所述载体衬底从所述晶片卸离。还揭示处理系统及制造中半导体晶片。
公开/授权文献
- CN106796879A 保护制造中半导体晶片的外围的方法以及相关制造中晶片及系统 公开/授权日:2017-05-31
IPC分类: