发明授权
- 专利标题: 电子能量损失光谱仪
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申请号: CN201580034881.1申请日: 2015-06-25
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公开(公告)号: CN106804114B公开(公告)日: 2019-05-28
- 发明人: 亚历山大·约瑟夫·古本斯 , 科林·特雷弗 , 雷伊·达德利·特韦斯顿 , 梅勒妮·巴费尔斯
- 申请人: 加坦公司
- 申请人地址: 美国宾夕法尼亚州(邮编:15086)
- 专利权人: 加坦公司
- 当前专利权人: 加坦公司
- 当前专利权人地址: 美国宾夕法尼亚州(邮编:15086)
- 代理机构: 成都虹桥专利事务所
- 代理商 张竞
- 优先权: 62/018,294 2014.06.27 US
- 国际申请: PCT/US2015/037712 2015.06.25
- 国际公布: WO2015/200649 EN 2015.12.30
- 进入国家日期: 2016-12-27
- 主分类号: H01J37/05
- IPC分类号: H01J37/05 ; H01J37/244 ; H01J37/28
摘要:
本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪,其中,电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁,以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜,根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜,以保持恒定的净焦距,同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝,可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子,从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。
公开/授权文献
- CN106804114A 电子能量损失光谱仪 公开/授权日:2017-06-06