电子能量损失光谱仪
摘要:
本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪,其中,电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁,以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜,根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜,以保持恒定的净焦距,同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝,可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子,从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。
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