具有超声能场辅助的三维微结构快速成形方法及装置
摘要:
本发明公开了一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形方法及装置。装置包含声表面波换能器、光预聚物、紫外固化灯和电动Z轴滑台,声表面波换能器沿圆周阵列分布,光预聚物置于换能器工作区域,紫外固化灯位于换能器下方以照射光预聚物,电动Z轴滑台位于上方以粘附单层微结构;声表面波换能器激发出不同超声能场,光预聚物表面产生周期性形貌,紫外固化灯照射光预聚物固化,获得具有周期性形貌的单层微结构,通过电动Z轴滑台的抬升运动粘附多个单层微结构,实现三维微结构成形。本发明能快速制造出三维微结构,不需要掩膜版和模具,并且对设备要求较低,具有操作简单、成本低和效率高的特点。
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