铌镁酸铅-钛酸铅和锆钛酸铅异质结构薄膜及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种铌镁酸铅‑钛酸铅和锆钛酸铅异质结构薄膜及其制备方法,铌镁酸铅‑钛酸铅和锆钛酸铅薄膜以不同的顺序组成多层异质结构薄膜。本发明降低了容温变化率,提高了介电峰的宽化,增大其应用领域。有效地提高了薄膜的介电性能,降低了薄膜的电导率。同时异质结构中的界面效应能有效的阻碍电子和空穴的传递,降低漏电流,提高铁电性能。
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