发明公开
- 专利标题: 一种柔性电容式湿度传感器及其制备方法
- 专利标题(英): Flexible capacitance type humidity sensor and preparation method thereof
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申请号: CN201710216996.3申请日: 2017-04-05
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公开(公告)号: CN106841331A公开(公告)日: 2017-06-13
- 发明人: 姚尧 , 张慧 , 马文英 , 李蠡 , 凌味未 , 魏华 , 黄铫 , 陈功 , 杜江
- 申请人: 成都信息工程大学
- 申请人地址: 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区学府路一段24号
- 专利权人: 成都信息工程大学
- 当前专利权人: 成都信息工程大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区学府路一段24号
- 代理机构: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司
- 代理商 韩雪
- 主分类号: G01N27/22
- IPC分类号: G01N27/22
摘要:
本发明公开了一种柔性电容式湿度传感器,其特征在于:包括柔性衬底(1)、电极(2)和湿敏材料层(4);所述电极(2)设置在柔性衬底(1)的一个表面上,柔性衬底(1)相对的另一个表面上设置有湿敏材料层(4),电极(2)和湿敏材料层(4)通过柔性衬底(1)隔开;所述电极(2)由导线引出。本发明柔性电容式湿度传感器,采用背面涂覆敏感材料的方式,以及电极保护层的设置,既能防止电极吸附水气之后被氧化,又能防止电极吸附水气对测量造成误差,提高测量的准确性,延长传感器的使用寿命,增强传感器的稳定性;同时所采用的PET材料柔软度好,可以任意弯曲,适用于多个领域。
公开/授权文献
- CN106841331B 一种柔性电容式湿度传感器及其制备方法 公开/授权日:2023-07-18