CCOS抛光工艺全频段收敛路径规划方法
摘要:
本发明属于光学加工技术领域,具体为一种CCOS抛光工艺全频段收敛路径规划方法。该方法的步骤如下:首先根据去除函数和检测得到的面形误差计算加工速度分布矩阵,再根据速度分布矩阵确定路径算法中的初始迭代路径,进而通过路径算法不断地对初始路径进行扩充,通过反复迭代得到加工抛光路径,最终依据得到的抛光路径和驻留时间矩阵生成控制程序,对待加工工件进行CCOS抛光。本发明优点在于能够使机床在沿抛光路径运动时最大程度地保持速率稳定,从而使加工低中频得以更好收敛,另外每次加工时的路径选择均不相同,这有利于面形中频收敛,二者综合使得加工质量得以提高。
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