发明授权
- 专利标题: CCOS抛光工艺全频段收敛路径规划方法
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申请号: CN201710026894.5申请日: 2017-01-15
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公开(公告)号: CN106863136B公开(公告)日: 2019-06-21
- 发明人: 万嵩林 , 张祥朝 , 何晓颖 , 徐敏 , 张晓磊
- 申请人: 复旦大学
- 申请人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
- 专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
- 代理机构: 上海正旦专利代理有限公司
- 代理商 陆飞; 陆尤
- 主分类号: B24B51/00
- IPC分类号: B24B51/00 ; G06F17/50 ; G06Q10/04
摘要:
本发明属于光学加工技术领域,具体为一种CCOS抛光工艺全频段收敛路径规划方法。该方法的步骤如下:首先根据去除函数和检测得到的面形误差计算加工速度分布矩阵,再根据速度分布矩阵确定路径算法中的初始迭代路径,进而通过路径算法不断地对初始路径进行扩充,通过反复迭代得到加工抛光路径,最终依据得到的抛光路径和驻留时间矩阵生成控制程序,对待加工工件进行CCOS抛光。本发明优点在于能够使机床在沿抛光路径运动时最大程度地保持速率稳定,从而使加工低中频得以更好收敛,另外每次加工时的路径选择均不相同,这有利于面形中频收敛,二者综合使得加工质量得以提高。
公开/授权文献
- CN106863136A CCOS抛光工艺全频段收敛路径规划方法 公开/授权日:2017-06-20