发明授权
- 专利标题: 镀膜用磁性承载装置
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申请号: CN201610939604.1申请日: 2016-11-01
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公开(公告)号: CN106868468B公开(公告)日: 2019-05-17
- 发明人: 叶崇宇 , 苏晖家 , 叶承朋 , 颜嘉宏 , 黄琬瑜 , 卢木森 , 黄一原
- 申请人: 凌嘉科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾台中市
- 专利权人: 凌嘉科技股份有限公司
- 当前专利权人: 凌嘉科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾台中市
- 代理机构: 北京泰吉知识产权代理有限公司
- 代理商 史瞳; 谢琼慧
- 优先权: 105100235 2016.01.06 TW
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50 ; C23C14/56
摘要:
一种镀膜用磁性承载装置,是用来承载至少一待镀物,其包含一个基座、一个导磁单元,及一个磁性单元。该基座具有一个参考面。该导磁单元设置于该基座的该参考面,并具有多个沿一第一方向彼此间隔的凸柱。该磁性单元设置于该参考面。在本发明中,该导磁单元的各凸柱的一顶面的一高度是大于该磁性单元的一顶面的一高度。本发明于该镀膜用磁性承载装置内引入该导磁单元,使该导磁单元与该磁性单元间距有一高度差,令该导磁单元的各凸柱顶面的高度大于该磁性单元的顶面高度,以借此消除该磁性单元所产生的磁场总量中的垂直分量的磁场,并有效地贡献出水平分量的磁场。
公开/授权文献
- CN106868468A 镀膜用磁性承载装置 公开/授权日:2017-06-20
IPC分类: