偶极子天线中的具备SiO2保护层的SPiN二极管的制备方法
摘要:
本发明公开一种偶极子天线中的具备SiO2保护层的SPiN二极管的制备方法,其中,所述可重构偶极子天线包括:SOI衬底、第一天线臂、第二天线臂和同轴馈线;所述第一天线臂和第二天线臂包括多个具备SiO2保护层的SPiN二极管串,所述SiO2保护层的SPiN二极管串由依次首尾相连的SiO2保护层的SPiN二极管构成,所述具备SiO2保护层的SPiN二极管的制造方法包括:选取SOI衬底;形成有源区沟槽;对所述有源区沟槽利用原位掺杂工艺分别淀积P型Si材料和N型Si材料形成P区和N区;光刻引线孔并金属化处理以形成所述具备SiO2保护层的SPiN二极管;本发明提供的具备SiO2保护层的SPiN二极管可用于高性能可重构偶极子天线的制备。
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