发明授权
- 专利标题: 一种芯片的封装方法
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申请号: CN201710137582.1申请日: 2017-03-09
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公开(公告)号: CN106876289B公开(公告)日: 2019-05-21
- 发明人: 李昭强 , 孙鹏 , 陈峰 , 张文奇
- 申请人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- 专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 孟金喆; 胡彬
- 主分类号: H01L21/56
- IPC分类号: H01L21/56 ; H01L23/31 ; H01L23/49 ; H01L21/60
摘要:
本发明实施例公开了一种芯片的封装方法,该芯片的封装方法包括:提提供一器件晶圆,器件晶圆的正面具有至少一个功能区和围绕功能区的至少一个布线区,布线区设置有多个焊盘;提供与所述至少一个功能区分别对应设置的至少一个盖玻晶片,将盖玻晶片的正面与器件晶圆上的对应功能区键合;切割器件晶圆以形成至少一个芯片。本发明实施例提供的芯片及其封装方法,盖玻晶片与对应的功能区实现了键合,则布线区的焊盘直接裸露在外,由此实现芯片气密性封装的同时利用晶圆级工艺实现晶圆级焊盘引出,无需采用TSV制程,降低了工艺复杂度和封装成本。
公开/授权文献
- CN106876289A 一种芯片及其封装方法 公开/授权日:2017-06-20
IPC分类: