一种自动扫描发射探针装置
摘要:
一种自动扫描发射探针装置,属于等离子体科学与技术领域。该装置由计算机、数据采集卡、隔离运放、探针加热电路、探针偏置电路和探针组成;数据采集卡的模拟输出通道a通过隔离运放a连接探针加热电路,探针加热电路输出端连接探针两端;数据采集卡的模拟输出通道b连接探针偏置电路,探针偏置电路输出端分别连接探针加热电路和等离子体参考地;探针加热电流信号由数据采集卡的模拟输入通道a采集、探针偏置电压信号和探针发射/收集电流信号分别由模拟输入通道b和c采集。本发明能自动扫描电子加热电流和探针偏置电压,测量过程耗时短、效率高;探针工作温度低、对等离子体扰动小、测量空间分辨精度高、测量准确,且探针不易烧断、寿命长。
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