发明授权
- 专利标题: 一种自动扫描发射探针装置
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申请号: CN201710184866.6申请日: 2017-03-24
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公开(公告)号: CN106888543B公开(公告)日: 2019-04-16
- 发明人: 陆文琪 , 李建泉 , 徐军 , 王奇
- 申请人: 大连理工常州研究院有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市武进区常武中路801号常州科教城大连理工大学常州研究院A座201室
- 专利权人: 大连理工常州研究院有限公司
- 当前专利权人: 大连理工江苏研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市武进区常武中路801号常州科教城大连理工大学常州研究院A座201室
- 代理机构: 大连理工大学专利中心
- 代理商 梅洪玉
- 主分类号: H05H1/00
- IPC分类号: H05H1/00
摘要:
一种自动扫描发射探针装置,属于等离子体科学与技术领域。该装置由计算机、数据采集卡、隔离运放、探针加热电路、探针偏置电路和探针组成;数据采集卡的模拟输出通道a通过隔离运放a连接探针加热电路,探针加热电路输出端连接探针两端;数据采集卡的模拟输出通道b连接探针偏置电路,探针偏置电路输出端分别连接探针加热电路和等离子体参考地;探针加热电流信号由数据采集卡的模拟输入通道a采集、探针偏置电压信号和探针发射/收集电流信号分别由模拟输入通道b和c采集。本发明能自动扫描电子加热电流和探针偏置电压,测量过程耗时短、效率高;探针工作温度低、对等离子体扰动小、测量空间分辨精度高、测量准确,且探针不易烧断、寿命长。
公开/授权文献
- CN106888543A 一种自动扫描发射探针装置 公开/授权日:2017-06-23